극한소재역학 및 신뢰성 평가 연구실에서는 재료역학과 첨단 제조기술을 중점으로 규모와 환경에 따른 재료의 기계적 거동을 연구합니다. 현재 진행 중인 연구분야는 크게 다음의 두가지입니다.

1. 고온에서의 금속 박막의 기계적 거동

고온환경에서 금속 박막의 기계적 거동을 관찰하는 실험과 역학적 모델을 개발하는 연구를 진행하고 있습니다. 특히, 비탄성 변형과 확산 크리프 등 작은 크기와 열에 의해 활성화되는 재료의 변형 메커니즘에 관심을 가지고 있고, Passivation layer 와같은 구조적 계면이 재료의 기계적 물성에 미치는 영향을 연구하고 있습니다.

2. 고온 구조용 금속 MEMS 재료와 소자 개발

극한환경(고온, 고출력)에서 사용할 수 있는 차세대 마이크로스위치 및 MEMS 소자용 재료개발 연구를 진행하고 있습니다. Combinatorial approach 를 통해 조성구배가 있는 합금 박막을 증착후 온도에 따른 기계적 거동을 평가하고, 열처리에 따른 물성변화를 이용해 향상된 기능성과 신뢰성을 가지는 MEMS 소자를 구현하고자 합니다.