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초정밀 광측정 및 가공 연구실Ultra-Precision Metrology and Manufacturing Lab.
연구실 소개
본 연구단에서는 반도체, 디스플레이 및 항공우주 등 다양한 첨단산업분야에서 요구되는 초정밀 측정학 및 가공학을 연구합니다. 초정밀 측정/가공을 구현하기 위한 핵심 줄기기술로써 초고속 광자학을 중심에 두고 있습니다.
초정밀 측정 분야에 있어서는, 크게는 차세대 우주미션을 위한 킬로미터 이상의 대영역에서 나노미터 급의 측정 정밀도를 실현하였으며, 작게는 반도체 장비의 보정을 위한 원자 크기 이하급의 작은 영역의 움직임을 피코미터 급의 높은 분해능으로 측정하여 보고하였습니다. 향후 이러한 원리들을 첨단산업 분야에 적용/확장해 나가는 연구를 수행해 나가고자 합니다.
연구분야
- 초정밀 측정학: 반도체, 디스플레이 및 항공우주 등 첨단산업 분야의 제품생산을 위한 초정밀 거리, 표면형상 및 내부구조 비파괴 측정/검사기술. 킬로미터 영역에서의 나노미터 정밀도 구현 및 나노 영역에서의 피코미터 정밀도 구현.
- 초정밀 가공학: 차세대 플렉서블/스트레쳐블 전자/광학소자의 초정밀 비열 레이저 패터닝 기술
- 초고속 광자학: 초정밀 측정/가공을 위한 극초단 레이저 원천기술 및 응용기술
- 우주미션용 광학/전자 탑재체: 차세대 우주미션을 위한 초정밀 측정/통신/분광 탑재체