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- 선택적 레이저 열처리를 통한 모놀리식 3D 상부소자를 포함하는 다층 게이트 캐퍼시터 및 이의 제조방법 Multilayer gate capacitor including monolithic 3D upper device through selective laser heat treatment and manufacturing method thereof, Registration Number: 10-2748569-0000, Registration Date: 2024-12-26, 대한민국